第一節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器定義及性質(zhì)
濺射薄膜壓力傳感器是由貼片式壓力傳感器發(fā)展而來(lái)。薄膜式壓力傳感器是利用薄膜技術(shù)在彈性上直接制作薄膜應(yīng)變電路的一體化敏感元件(及薄膜壓力敏感元件)，一方面沿用了傳統(tǒng)的彈性體粘貼箔式應(yīng)變計(jì)的電測(cè)機(jī)理，并繼承了其原有的一些優(yōu)點(diǎn)，另一方面采用現(xiàn)代薄膜工藝技術(shù)，用陶瓷介質(zhì)代替了粘貼膠層，克服了由膠層引起的蠕變等一系列的弊端，使其在長(zhǎng)期穩(wěn)定性、耐高溫、高輸出阻抗等性能指標(biāo)得到了極大的提高。
所以薄膜壓力傳感器適合于要求穩(wěn)定性好、可靠性高或溫度范圍寬等惡劣條件下的壓力參數(shù)測(cè)量。特別是在航天領(lǐng)域，其應(yīng)用前景極為廣泛。
第二節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器發(fā)展歷程
薄膜技術(shù)在近二十年來(lái)半導(dǎo)體集成電路工藝發(fā)展的推動(dòng)下取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。特別是在最近十幾年來(lái)，微米、壓微米、納米技術(shù)得到廣泛應(yīng)用，半導(dǎo)體技術(shù)迅速崛起。新的鍍膜工藝不斷涌現(xiàn)，為薄膜技術(shù)的發(fā)展提供了契機(jī)，同時(shí)薄膜技術(shù)也成為各種微傳感器和微執(zhí)行器制作流程中必不可少的工藝環(huán)節(jié)。薄膜工藝和薄膜材料也成為當(dāng)代真空技術(shù)和材料科學(xué)中最為活躍的研究領(lǐng)域。
將薄膜技術(shù)應(yīng)用到傳感器的研究開(kāi)發(fā)上是傳感器領(lǐng)域內(nèi)發(fā)展較快的技術(shù)之一。薄膜技術(shù)與傳感器技術(shù)的結(jié)合，為傳感器開(kāi)拓了更為廣闊的發(fā)展空間。
薄膜傳感器在上個(gè)世界七十年代面試之后的一段時(shí)間，主要用于航天等軍用領(lǐng)域。上世紀(jì)80年代，濺射薄膜壓力傳感器在美國(guó)、德國(guó)、法國(guó)等國(guó)家航天飛機(jī)等飛行器上就有了成熟的應(yīng)用。如Bell&Howell公司的CEC1000壓力傳感器大量用于航天飛機(jī)上。法國(guó)Sep.公司的27型濺射薄膜壓力傳感器大量用于通訊衛(wèi)星及ARIANE4、5型火箭上。新型燃油火箭發(fā)動(dòng)機(jī)的燃油壓力、滑油壓力測(cè)量，火箭助推器伺服系統(tǒng)，發(fā)動(dòng)機(jī)地面試車(chē)臺(tái)噴管口部壓力測(cè)量，導(dǎo)彈發(fā)射微機(jī)控制系統(tǒng)，發(fā)射基地燃料、氧化劑的儲(chǔ)罐及加注壓力監(jiān)控等都需要高穩(wěn)定性、高可靠性的壓力傳感器，在上述領(lǐng)域，濺射薄膜壓力傳感器都有過(guò)成功的應(yīng)用。
由于采用了薄膜技術(shù)，濺射薄膜壓力傳感器具有高精度；零位和靈敏度的溫度漂移?。浑娮杵骷睦匣夹g(shù)，使其具備最優(yōu)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性；小型化的可能性；低成本等幾個(gè)方面的優(yōu)點(diǎn)。略……
第三節(jié) 世界離子束濺射薄膜壓力傳感器市場(chǎng)發(fā)展及預(yù)測(cè)
一、世界離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
全世界約有40多個(gè)國(guó)家從事傳感器的研制、生產(chǎn)和應(yīng)用開(kāi)發(fā)，研發(fā)機(jī)構(gòu)6000余家。其中以美、日、俄等國(guó)實(shí)力較強(qiáng)，他們建立了包括物理量、化學(xué)量、生物量三大門(mén)類(lèi)的傳感器產(chǎn)業(yè)，研發(fā)生產(chǎn)單位4000余家、產(chǎn)品20000多種，對(duì)應(yīng)用范圍廣的產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，大企業(yè)的年生產(chǎn)能力達(dá)到幾千萬(wàn)支到幾億支。
世界上除美國(guó)、德國(guó)、法國(guó)等國(guó)家外，還有許多國(guó)家如俄羅斯、英國(guó)、日本等國(guó)家都有高性能的薄膜壓力傳感器商品，并廣泛應(yīng)用于航天飛機(jī)、衛(wèi)星以及火箭發(fā)射、箭載裝備等重要場(chǎng)合。印度也做過(guò)一些基礎(chǔ)工作。
比較著名的傳感器廠(chǎng)商有美國(guó)霍尼韋爾(Honeywell)公司、?？怂共_(Foxboro)公司、ENDEVCO公司、英國(guó)Bell&Howell公司、Solartron公司、荷蘭飛利浦、俄羅斯熱工儀表所等。
二、世界離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)預(yù)測(cè)
世界傳感器市場(chǎng)正在以持續(xù)穩(wěn)定的增長(zhǎng)之勢(shì)向前發(fā)展。傳感器需求規(guī)?？焖僭鲩L(zhǎng)的主要?jiǎng)恿?lái)自于工業(yè)電子設(shè)備和汽車(chē)電子、通信電子、消費(fèi)電子和專(zhuān)用電子設(shè)備等。工業(yè)電子設(shè)備和汽車(chē)電子是電子信息產(chǎn)業(yè)中增長(zhǎng)最快的行業(yè)，也是傳感器應(yīng)用最多的領(lǐng)域。
薄膜壓力傳感器是汽車(chē)用高壓傳感器的主流，隨著世界汽車(chē)工業(yè)的發(fā)展和汽車(chē)電控技術(shù)進(jìn)步，對(duì)高質(zhì)量薄膜壓力傳感器的需求將會(huì)大幅提升。目前，高壓傳感器在現(xiàn)代汽車(chē)最新技術(shù)領(lǐng)域的主要應(yīng)用是在制動(dòng)壓力和發(fā)動(dòng)機(jī)燃油壓力的測(cè)量上，其典型是汽車(chē)ESP（電子穩(wěn)定程序）、EHB（電子液壓制動(dòng)）和汽油缸內(nèi)直噴、柴油高壓共軌直噴。
ESP系統(tǒng)從1995年問(wèn)世以來(lái)，1999年成為奔馳A級(jí)轎車(chē)的標(biāo)配，現(xiàn)已成為全世界高檔汽車(chē)的標(biāo)配。目前歐洲裝備ESP系統(tǒng)的車(chē)輛達(dá)到了65%，美國(guó)在2007年已制定ESP的相應(yīng)法規(guī)，2010年之后，美國(guó)本地下線(xiàn)和進(jìn)口到美國(guó)的整車(chē)，都必須有ESP系統(tǒng)裝備。
在最新的主動(dòng)安全系統(tǒng)電子液壓制動(dòng)EHB中，薄膜壓力傳感器更是被廣泛應(yīng)用。
目前約有10億輛汽車(chē)分布在全世界的每個(gè)角落，世界汽車(chē)年產(chǎn)量為6100萬(wàn)輛。保守預(yù)測(cè)，如果每一輛車(chē)裝備6只濺射薄膜壓力傳感器，那么每年濺射薄膜壓力傳感器的需求量將于3.66億只，每個(gè)壓力傳感器市值按20美元計(jì)算，那么濺射薄膜壓力傳感器僅在汽車(chē)壓力傳感器市場(chǎng)就占據(jù)了73.2億美元的份額。
第四節(jié) 主要國(guó)家或地區(qū)離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展及預(yù)測(cè)
傳感器是光儀電系統(tǒng)的“感覺(jué)器官”，是測(cè)量系統(tǒng)中的一種前置部件，它將輸入變量轉(zhuǎn)換成可供測(cè)量的信號(hào)。美、日、英、法、德和獨(dú)聯(lián)體等國(guó)都把傳感器技術(shù)列為國(guó)家重點(diǎn)開(kāi)發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)之一。
當(dāng)今國(guó)家壓力傳感器市場(chǎng)中，半導(dǎo)體類(lèi)傳感器無(wú)可爭(zhēng)議地占據(jù)了“霸主”地位，這主要是因?yàn)榘雽?dǎo)體傳感器更容易實(shí)現(xiàn)多功能、集成化、智能化，順應(yīng)了傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。
1、美國(guó)
美國(guó)由政府領(lǐng)導(dǎo)成立了"傳感器與致動(dòng)器國(guó)家協(xié)調(diào)委員會(huì)"，負(fù)責(zé)組織傳感器研究會(huì)的一切協(xié)調(diào)和技術(shù)交流工作。參加該會(huì)的單位很多，有著名的美國(guó)國(guó)家航空航天局（NASA）、兵器發(fā)展試驗(yàn)中心、海軍武器試驗(yàn)中心、白沙導(dǎo)彈試驗(yàn)基地、美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局以及一些著名大學(xué)和科研單位、經(jīng)濟(jì)財(cái)團(tuán)等。美國(guó)每年用于開(kāi)發(fā)研究新型傳感器的經(jīng)費(fèi)高達(dá)數(shù)億美元。整個(gè)美國(guó)從事傳感器研制和生產(chǎn)的公司和廠(chǎng)家已超過(guò)1000多家。世界第一流的公司就有IC公司、TI公司、Kulit公司、ENDEVCO公司、Motolola公司、Honewell公司等等。美國(guó)所以能在軍事科學(xué)技術(shù)、航空航天技術(shù)等領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，與其重視開(kāi)發(fā)各種新型傳感器技術(shù)是分不開(kāi)的。
2、西歐
英國(guó)是由國(guó)家技術(shù)小組（BTG）負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)微電子技術(shù)（其中包括傳感器技術(shù)）并投資數(shù)千萬(wàn)英鎊給予扶持。其著名廠(chǎng)家有Bell&Howell公司、Sangamo公司、Landpyrometers公司、Druck公司、Solartron公司等。其產(chǎn)品行銷(xiāo)全世界頗受歡迎。
整個(gè)西歐（包括英國(guó)、法國(guó)、丹麥、瑞士、荷蘭、挪威等國(guó)）大約也有1000多家從事傳感器研制與生產(chǎn)的公司。其中有不少是世界有名的公司，如西門(mén)子公司、荷蘭的飛利浦公司、丹麥的B&K公司等。他們都有先進(jìn)的傳感器產(chǎn)品行銷(xiāo)世界各地。
有資料表面，歐洲壓力傳感器和變送器市場(chǎng)在2005年達(dá)到14.8億美元。預(yù)計(jì)到2012年將達(dá)到20.7億美元。EMMS壓力傳感器和變送器在2005年所占的市場(chǎng)份達(dá)到42.1%。但每一種傳感器的存在與發(fā)展，都依賴(lài)于自身優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也不可避免地存在某些不足，因此由于應(yīng)用領(lǐng)域不同，面向的用戶(hù)不同，傳感器各個(gè)種類(lèi)間無(wú)法相互替代，薄膜傳感器也不例外。沒(méi)有準(zhǔn)確數(shù)值顯示濺射薄膜壓力傳感器在國(guó)際市場(chǎng)上的份額，但在有些行業(yè)，特別是環(huán)境惡劣和工況較為復(fù)雜的測(cè)壓場(chǎng)合，濺射薄膜壓力傳感器還在但當(dāng)不可或缺的重要角色。除去軍用領(lǐng)域之外，汽車(chē)行業(yè)就是其中的典型。作為車(chē)用高壓傳感器最著名的供應(yīng)商——德國(guó)的Bosch公司、Denso公司、WIKA公司均將金屬薄膜應(yīng)變式壓力傳感器作為其高壓產(chǎn)品的主流。略……
第五節(jié) 中國(guó)離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境（PEST）
一、經(jīng)濟(jì)環(huán)境分析
2005-2010年我國(guó)GDP增長(zhǎng)變化情況 單位：億元，%
二、政策、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)
1、政策
在中國(guó)經(jīng)濟(jì)率先復(fù)蘇的背景下，宏觀(guān)調(diào)控政策備受各界關(guān)注。中央經(jīng)濟(jì)工作會(huì)議明確提出，2010年要保持宏觀(guān)經(jīng)濟(jì)政策的連續(xù)性和穩(wěn)定性，繼續(xù)實(shí)施積極的財(cái)政政策和適度寬松的貨幣政策，同時(shí)根據(jù)新形勢(shì)新情況著力提高政策的針對(duì)性和靈活性。盡管措辭基調(diào)未變，但政策的內(nèi)涵和實(shí)施的重點(diǎn)或?qū)l(fā)生微妙變化，“針對(duì)性和靈活性”將可能成為未來(lái)政策調(diào)控的關(guān)鍵詞。
一個(gè)寬松的政策環(huán)境對(duì)薄膜壓力傳感器的創(chuàng)新和市場(chǎng)拓展都有一定的積極促進(jìn)作用。另外，“積極的財(cái)政政策”對(duì)我國(guó)薄膜壓力傳感器行業(yè)的出口貿(mào)易也有益處。
2、部分相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
壓力傳感器相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)列表
三、社會(huì)環(huán)境
社會(huì)環(huán)境是指組織所在社會(huì)中成員的民族特征、文化傳統(tǒng)、價(jià)值觀(guān)念、宗教信仰、教育水平以及風(fēng)俗習(xí)慣等因素。構(gòu)成社會(huì)環(huán)境的要素包括人口規(guī)模、年齡結(jié)構(gòu)、種族結(jié)構(gòu)、收入分布、消費(fèi)結(jié)構(gòu)和水平、人口流動(dòng)性等。其中人口規(guī)模直接影響著一個(gè)國(guó)家或地區(qū)市場(chǎng)的容量，年齡結(jié)構(gòu)則決定消費(fèi)品的種類(lèi)及推廣方式。
目前，我國(guó)比較突出的社會(huì)問(wèn)題有就業(yè)形勢(shì)和過(guò)大的收入差距上。
從就業(yè)方面來(lái)看，我國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)對(duì)就業(yè)的拉動(dòng)作用逐年減弱。GDP增長(zhǎng)的就業(yè)彈性從1980年～1989年期間的0.323降低到2004年0.1左右。我國(guó)目前的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)是“非就業(yè)的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)”。而由于勞動(dòng)適齡人口的大量增加（20世紀(jì)70年代、80年代生育高峰時(shí)期出生的人，目前正好進(jìn)入就業(yè)年齡），以及城市化帶來(lái)的大量農(nóng)業(yè)居民轉(zhuǎn)化為城市居民和國(guó)有、集體企業(yè)大量富余人員下崗。
另外，受到金融危機(jī)的影響，就業(yè)形勢(shì)更加嚴(yán)峻。2009年中國(guó)的就業(yè)形勢(shì)將比往年要嚴(yán)峻得多。隨著全球金融危機(jī)的愈演愈烈，不少企業(yè)的招聘計(jì)劃被凍結(jié)或縮水，對(duì)原本就面臨巨大就業(yè)壓力的大學(xué)生無(wú)疑是雪上加霜。
從我國(guó)的實(shí)踐來(lái)看，隨著我國(guó)工業(yè)化水平的逐步提高，從上個(gè)世紀(jì)90年代以來(lái)，我國(guó)的收入差距（包括城鄉(xiāng)收入差距、地區(qū)收入差距和個(gè)人收入差距）呈現(xiàn)出不斷擴(kuò)大的趨勢(shì)。2009年我國(guó)城鄉(xiāng)居民收入比已經(jīng)達(dá)到3.33∶1，再考慮城市居民還享有公費(fèi)醫(yī)療、失業(yè)保險(xiǎn)、住房補(bǔ)貼、養(yǎng)老金等社會(huì)保障方面的非貨幣收入因素，中國(guó)的城鄉(xiāng)收入差距可能高達(dá)5倍～6倍，是世界最高的。雖然國(guó)家從20世紀(jì)90年代末開(kāi)始采取或強(qiáng)化了一些措施（如減輕農(nóng)民負(fù)擔(dān)、逐步取消農(nóng)業(yè)稅、實(shí)施西部大開(kāi)發(fā)戰(zhàn)略、加強(qiáng)收入調(diào)節(jié)等）抑制收入差距擴(kuò)大，但成效并不顯著，收入差距已經(jīng)成為影響我國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要因素。
據(jù)分析，在目前我國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展階段和經(jīng)濟(jì)條件下，如果不采取有效措施，“十二五”期間我國(guó)的城鄉(xiāng)收入差距和地區(qū)收入差距繼續(xù)擴(kuò)大的趨勢(shì)將難以避免，這將對(duì)我國(guó)的經(jīng)濟(jì)發(fā)展和社會(huì)穩(wěn)定產(chǎn)生非常不利的影響。
四、技術(shù)環(huán)境
我國(guó)良好的政策環(huán)境和相對(duì)平穩(wěn)的宏觀(guān)經(jīng)濟(jì)形勢(shì)為薄膜壓力傳感器技術(shù)創(chuàng)新和推廣應(yīng)用提供了優(yōu)越的市場(chǎng)機(jī)會(huì)和發(fā)展空間。壓力傳感器技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到比較高的水平，并且更新?lián)Q代的速度很快。雖然我國(guó)薄膜壓力傳感器生產(chǎn)技術(shù)水平與發(fā)達(dá)國(guó)家還有加大的差距，但隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和社會(huì)的進(jìn)步，以及電子工業(yè)的快速發(fā)展，國(guó)內(nèi)眾多企業(yè)實(shí)現(xiàn)工藝技術(shù)升級(jí)的需求進(jìn)一步增強(qiáng)，我國(guó)的離子束濺射薄膜壓力傳感器將在技術(shù)、材料、工藝上都有改進(jìn)和提高的空間。
第六節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器生產(chǎn)工藝分析
濺射薄膜壓力敏感元件一般有兩種形式，一種是直接在絕緣基底(如藍(lán)寶石基底)上，先制作金屬薄膜，再用光化學(xué)等方法生成應(yīng)變圖形和電極，從而制做成薄膜壓力敏感元件；另一種是在金屬?gòu)椥泽w上先制作一層絕緣介質(zhì)層，再在其上制作金屬薄膜，然后通過(guò)光刻、刻蝕的一系列的工藝形成應(yīng)變圖形和電極，一般制作好的敏感元件表面還需覆蓋一層保護(hù)層。
濺射薄膜壓力傳感器的主要制作工藝包括膜片的研磨拋光、清洗、成膜、制作光化學(xué)圖形和表面保護(hù)等。
1、膜片的研磨拋光
金屬膜片的表面研磨和拋光是制造濺射薄膜敏感元件關(guān)鍵工藝，膜片表面研磨、拋光質(zhì)量的好壞將直接影響到后續(xù)工序質(zhì)量，因此膜片經(jīng)研磨、拋光后其表面質(zhì)量必須達(dá)到以下要求：表面粗糙度Ra≤0.1μm；平面度≤1.2pm，且表面不能有劃痕、桔皮等缺陷。
研磨一般需有粗磨、細(xì)磨，細(xì)磨后的表面不能有劃痕。拋光工藝采用瀝青膠版拋光工藝，瀝青膠版拋光法拋光后的膜片表面效果較好，用瀝青膠版拋光制作的敏感元件的溫度性能、絕緣強(qiáng)度、產(chǎn)品成品率較好。
2、膜片的清洗工藝
膜片在成膜前要經(jīng)過(guò)化學(xué)試劑超聲波清洗和離子轟擊清洗兩道工藝?；瘜W(xué)試劑超聲波清洗可以去除膜片表面的油脂、微塵等污染物，離子轟擊可以去除膜片表面吸附的水汽、空氣的微觀(guān)污染。潔凈的膜片表面可以獲得到良好的薄膜結(jié)合力，膜片表面清洗不干凈會(huì)導(dǎo)致膜層的結(jié)合力下降，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)導(dǎo)致膜層脫落。
3、薄膜沉積
制備薄膜的方法很多，在薄膜壓力敏感元件制作過(guò)程采用的方法大致有真空蒸發(fā)成膜和濺射成膜兩種，而濺射成膜又可分直流濺射、射頻(RF)濺射、離子束濺射(IBS)等幾種。真空蒸發(fā)成膜結(jié)合力差，且工藝重復(fù)性不好，所以現(xiàn)在在薄膜壓力敏感元件的制作工藝中已經(jīng)很少有人采用。直流濺射成膜也因?yàn)椴荒艹练e介質(zhì)膜而不被采用。目前，在制造工藝廣泛使用的方法基本上是射頻濺射成膜和離子束濺射成膜兩種。
4、制作電極圖形
電引線(xiàn)圖形的材料使用一般使用高純Au制作電極圖形，一般是先用光刻的方法在金層上形成掩模，然后用水基12、KI腐蝕液化學(xué)腐蝕出圖形。該腐蝕液在濃度、腐蝕溫度和攪拌速度合理時(shí)，對(duì)膜片材料、電阻材料基本上不腐蝕，可以很好地控制腐蝕終點(diǎn)。
5、制作應(yīng)變電路圖形
制作應(yīng)變電路圖形一般是先用光刻的方法在膜層上形成掩模，然后進(jìn)行化學(xué)腐蝕或干法刻蝕的方法進(jìn)行圖形加工?；瘜W(xué)腐蝕一般得到的圖形線(xiàn)條邊緣不整齊，而且有側(cè)向腐蝕現(xiàn)象。干法刻蝕圖形線(xiàn)條邊緣比較整齊，而且無(wú)側(cè)向腐蝕，所以一般都采用離子束干法刻蝕工藝。
6、敏感元件表面保護(hù)
在制作好應(yīng)變圖形的敏感元件表面，沉積一層介質(zhì)膜層，可以提高敏感元件的抗?jié)裥阅?，防止?yīng)變電阻層在長(zhǎng)期使用過(guò)程被氧化和污染，有利于保證敏感元件的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性。保護(hù)層和絕緣介質(zhì)層一般采用同種材料，目前大部分薄膜壓力敏感元件生產(chǎn)廠(chǎng)家使用的材料為Si02。略……
第七節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展特征
一、周期性特征
目前市場(chǎng)上常見(jiàn)的壓力傳感器有擴(kuò)散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應(yīng)變片粘貼式等多個(gè)品種。濺射薄膜式壓力傳感器是近幾年來(lái)剛剛邁入市場(chǎng)的后起之秀，離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)處于成長(zhǎng)期。
二、區(qū)域性分布
敏感元件與傳感器的研制、生產(chǎn)集中在東部沿海地區(qū)，產(chǎn)量較大的企業(yè)包括歐姆龍（上海）有限公司、愛(ài)科電子（珠海保稅區(qū)）有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、精量電子（深圳）有限公司等，而其它95%以上屬小型企業(yè)，綜合實(shí)力較強(qiáng)的骨干企業(yè)較少。目前能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類(lèi)，約3,000多個(gè)品種，年銷(xiāo)售量較高的企業(yè)集中在北京、上海、江蘇、陜西、廣東、浙江等省市。
三、產(chǎn)業(yè)鏈研究
第八節(jié) 未來(lái)五年離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)劃建議
一、離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)整體規(guī)劃
傳感器產(chǎn)業(yè)屬于電子和電工機(jī)械專(zhuān)用設(shè)備制造中的電子工業(yè)專(zhuān)用設(shè)備制造。根據(jù)黨的十七大提出的“振興裝備制造業(yè)”和《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見(jiàn)》（國(guó)發(fā)[2006]8號(hào)）精神，以及《信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃》的總體部署，結(jié)合國(guó)內(nèi)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)已有的基礎(chǔ)和面臨的良好發(fā)展環(huán)境，為進(jìn)一步促進(jìn)設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，信息產(chǎn)業(yè)部在深入調(diào)研、廣泛論證的基礎(chǔ)上，第一次專(zhuān)門(mén)編制了《電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器“十一五”專(zhuān)項(xiàng)規(guī)劃》，以此作為“十一五”我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件，為進(jìn)一步加強(qiáng)和規(guī)范行業(yè)管理、指導(dǎo)重大工程建設(shè)實(shí)施提供依據(jù)。
二、離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)劃建議
經(jīng)過(guò)改革開(kāi)放近三十年的發(fā)展，特別是“十一五”以來(lái)的快速發(fā)展，我國(guó)已成為全球最重要的電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)基地，產(chǎn)業(yè)規(guī)模位居世界前列，龐大的加工制造能力無(wú)疑為我們加快電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場(chǎng)環(huán)境。同時(shí)，經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，我國(guó)數(shù)字控制、精密加工、微電子、通信、新型元器件、新材料、測(cè)試測(cè)量等相關(guān)產(chǎn)業(yè)和技術(shù)取得長(zhǎng)足進(jìn)步。因此，未來(lái)五年，我國(guó)將依托國(guó)內(nèi)市場(chǎng)和已有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，通過(guò)自主創(chuàng)新，引進(jìn)、消化吸收再創(chuàng)新等多種方式進(jìn)一步發(fā)展電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)，完全有可能取得突破。
我國(guó)政府應(yīng)營(yíng)造良好的政策環(huán)境，加大資金扶持力度、積極引進(jìn)外商投資和加大國(guó)際合作等方面提出政策建議。
通過(guò)加大國(guó)家資金投入、稅收激勵(lì)、金融支持、政府采購(gòu)優(yōu)先、鼓勵(lì)引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新等手段，進(jìn)一步營(yíng)造良好的政策環(huán)境，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。同時(shí)，可以運(yùn)用調(diào)整關(guān)稅政策等措施，為國(guó)際優(yōu)勢(shì)企業(yè)來(lái)我國(guó)投資創(chuàng)造有利環(huán)境，不斷加大國(guó)際合作，逐步提升產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。
國(guó)家應(yīng)加大對(duì)關(guān)鍵基礎(chǔ)性技術(shù)和原材料研究的支持力度。在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)消化吸收再創(chuàng)新；在推廣現(xiàn)有成果的基礎(chǔ)上，組織關(guān)鍵領(lǐng)域的集成創(chuàng)新，創(chuàng)建一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的知名品牌。確立企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的主體地位，鼓勵(lì)企業(yè)與科研院所、大專(zhuān)院校聯(lián)合進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)，加快科技成果的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。鼓勵(lì)產(chǎn)品、工藝開(kāi)發(fā)企業(yè)和設(shè)備儀器企業(yè)聯(lián)合開(kāi)展研發(fā)工作，進(jìn)一步推動(dòng)產(chǎn)用結(jié)合。略……
第九節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)投資機(jī)會(huì)分析
隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)增長(zhǎng)，政府在刺激內(nèi)需方面采取的出色舉措，相繼出臺(tái)了“4萬(wàn)億投資計(jì)劃”、“十大經(jīng)濟(jì)刺激計(jì)劃”等多項(xiàng)刺激手段，由此產(chǎn)生了較多的投資機(jī)會(huì)。
最近，國(guó)家相關(guān)職能部門(mén)在不同場(chǎng)合紛紛表示將加大對(duì)新興產(chǎn)業(yè)的政策和資金支持。其中一大投資熱點(diǎn)集中在集成電路、專(zhuān)用電子設(shè)備和材料方面。
我國(guó)薄膜壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)電子設(shè)備、汽車(chē)、通信、消費(fèi)電子等行業(yè)。我國(guó)電子設(shè)備產(chǎn)業(yè)以及汽車(chē)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，為離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)提供了一個(gè)廣闊的發(fā)展空間。
第十節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)投資前景分析
一、離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)投資發(fā)展前景
濺射壓力傳感器在壓力測(cè)控領(lǐng)域中，已成為中、高壓力測(cè)量的主力軍。濺射薄膜壓力傳感器應(yīng)用于石油井下高壓、高溫測(cè)量，柴油發(fā)動(dòng)機(jī)共軌壓力測(cè)量以及水利、電力、機(jī)械制造、冶金能源等領(lǐng)域。
隨著中國(guó)制造業(yè)的發(fā)展和自動(dòng)化市場(chǎng)的進(jìn)一步增長(zhǎng)，作為工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)中的“感覺(jué)器官”，傳感器開(kāi)始在更多的新興領(lǐng)域得到應(yīng)用，其作用和地位也越來(lái)越重要，而各行各業(yè)對(duì)傳感器的需求越來(lái)越大，離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)具有較好的投資前景。
二、中國(guó)離子束濺射薄膜壓力傳感器市場(chǎng)蘊(yùn)藏的商機(jī)
中國(guó)大陸傳感器需求規(guī)?？焖僭鲩L(zhǎng)的主要?jiǎng)恿?lái)自于工業(yè)電子設(shè)備和汽車(chē)電子、通信電子、消費(fèi)電子和專(zhuān)用電子設(shè)備等。工業(yè)電子設(shè)備和汽車(chē)電子是電子信息產(chǎn)業(yè)中增長(zhǎng)最快的行業(yè)，也是傳感器應(yīng)用最多的領(lǐng)域，如測(cè)量各種工藝變量、電子特性和物理量，以及傳統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)/定位等。
中國(guó)大陸工業(yè)現(xiàn)代化的進(jìn)程和電子信息產(chǎn)業(yè)以20%以上的速度連續(xù)高速增長(zhǎng)，帶動(dòng)了傳感器市場(chǎng)的快速上升。
薄膜壓力傳感器是汽車(chē)用高壓傳感器的主流，隨著世界汽車(chē)工業(yè)的發(fā)展和汽車(chē)電控技術(shù)進(jìn)步，對(duì)高質(zhì)量薄膜壓力傳感器的需求將會(huì)大幅度提升。中國(guó)汽車(chē)電子產(chǎn)業(yè)起步較晚，中國(guó)汽車(chē)電子的高速發(fā)展也正在引起了全球汽車(chē)電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)注。隨著中國(guó)與世界的接軌，中國(guó)整車(chē)廠(chǎng)汽車(chē)電子的要求也日趨國(guó)際化，安全，舒適，節(jié)能等要求也會(huì)日趨提高，這為離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)提供了一個(gè)廣闊的發(fā)展空間。
中國(guó)還是程控交換機(jī)、移動(dòng)通信基站、手機(jī)、傳真機(jī)等電子產(chǎn)品制造大國(guó)，通信產(chǎn)業(yè)也是傳感器的重要應(yīng)用領(lǐng)域。2009年，我國(guó)手機(jī)產(chǎn)量6.19億部，占全球出貨量的50%。2010年1-2月我國(guó)手機(jī)產(chǎn)量增長(zhǎng)29.7%，手機(jī)產(chǎn)量的大幅增長(zhǎng)及手機(jī)功能的不斷增加給傳感器市場(chǎng)帶來(lái)新的機(jī)遇。
此外中國(guó)是全球白家電（包括家用空調(diào)、電冰箱和洗衣機(jī)）生產(chǎn)和出口大國(guó)，大大提升了傳感器產(chǎn)品的需求量。近幾年，傳感器在醫(yī)療、環(huán)保、氣象等專(zhuān)用電子設(shè)備中的應(yīng)用也快速增長(zhǎng)，所用傳感器占市場(chǎng)份額的15%左右。上述行業(yè)對(duì)傳感器的大量需求，為中國(guó)大陸傳感器產(chǎn)業(yè)提供了很好的發(fā)展機(jī)遇。略……
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